半导体xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,半导体xrd检测多少钱,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
假如,我们所测量的样品是一个整个的块体,比如一块金属,也许---铸造出来。情况算是很幸运的了。但是,我们的材料往往是要经过加工的。比如拉、拔、压、轧等等。在这个加工的过程中,晶粒总是通过一定的滑移面滑移,加工程度越高,晶粒排列得越整齐有序。我们称这种现象为“择优取向”或存在“织构”。一旦样品中存在择优取向,安徽半导体xrd检测,所测量出来的衍射峰强度就不能与理论计算的(按完全无序)结果一致。你会发现,我们通常测量的衍射谱与pdf卡片上的强度比完全不对应。
也许强峰变成了不强的峰了,甚至弱到看不到了。你还怎么用“该物相的强峰”的强度来计算含量呢?也许有人会说,东方不亮西方亮,一个物相总会有一个强峰呀。但是,此强峰不是彼强峰啊。它与本来的强峰的衍射角、多重因子、结构因子等等都是不同的,是的!于是,有人就想到了一个事情:“一个物相的总散射强度应当是不变的”。试图使用一定散射区内的全部衍射峰的强度来作为物相的衍射强度,当然,此时的rir值也要用此区域内的全部衍射峰强度来计算。这还算简单的想法,
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小角x射线散射(small angle x-ray scattering)和小角x射线衍射(small angle x-ray diffraction)是一回事吗?
早期小角 x 射线散射仅指超细颗粒在低角度范围(常指2θ<20°)上的 x射线散射,而现在,小角x射线散射通指在低角度范围(常指 2θ<10°~20°)的 x 射线散射。
x-射线照射到晶体上发生相干散射(存在位相关系)的物理现象叫衍射,即使发生在低角度也是衍射。例如,某相的d值为 31.5?,相应衍射为2.80°(cu-kα),如果该相有---的结晶度,31.5?峰还是十分尖锐的。薄膜也能产生取决于薄膜厚度与薄膜微观结构的、集中在小角范围内的 x 射线衍射。在这些情况下,样品的小角x射线散射强度主要来自样品的衍射,称之为角x射线衍射。对这类样品,人们关心的是其的 d 值或者是薄膜厚度与结构,必须研究其小角x射线衍射。
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强度到底应该如何表示?
前面已经提到,衍射强度的定义与rir值的定义有差别。因此,半导体xrd检测服务,在计算物相的分数时到底应当用峰高还是用积分面积来作为衍射强度呢?如果使用峰高,则与衍射的积分强度定义相背,肯定会带来误差,如果使用积分强度,又与rir值定义相背。因此,不论你使用哪个值来作为强度都会存在较大的误差。
现在,我们来看看,误差到底从哪里出来的。上面已经提到,只有当衍射峰的半高宽完全相同时,衍射峰高与面积相当。那么,在什么情况下会出现衍射峰的宽度不同呢?
(1)衍射峰宽度是衍射角的函数,不同衍射角的衍射峰宽度是不同的。这一点我们很能看得明白,低角度的衍射峰总是较窄,半导体xrd检测平台,但当衍射角较高时,我们看到的衍射峰低而宽,有时漫散得我们都不想把它们扫描出来。
(2)不同晶粒尺寸的衍射峰宽度是不同的。细晶粒物相的衍射峰低而宽,结晶完好的粗晶粒物相的衍射峰锐而窄。
(3)存在应力的样品,同样使衍射峰变宽。
(4)如果存在微观的缺陷,会使衍射峰的线形变化,也会影响面积与峰高的关系。
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