半导体xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
强度到底应该如何表示?
前面已经提到,衍射强度的定义与rir值的定义有差别。因此,在计算物相的分数时到底应当用峰高还是用积分面积来作为衍射强度呢?如果使用峰高,则与衍射的积分强度定义相背,肯定会带来误差,如果使用积分强度,又与rir值定义相背。因此,不论你使用哪个值来作为强度都会存在较大的误差。
现在,我们来看看,半导体xrd检测价格,误差到底从哪里出来的。上面已经提到,只有当衍射峰的半高宽完全相同时,衍射峰高与面积相当。那么,在什么情况下会出现衍射峰的宽度不同呢?
(1)衍射峰宽度是衍射角的函数,不同衍射角的衍射峰宽度是不同的。这一点我们很能看得明白,低角度的衍射峰总是较窄,但当衍射角较高时,我们看到的衍射峰低而宽,有时漫散得我们都不想把它们扫描出来。
(2)不同晶粒尺寸的衍射峰宽度是不同的。细晶粒物相的衍射峰低而宽,结晶完好的粗晶粒物相的衍射峰锐而窄。
(3)存在应力的样品,同样使衍射峰变宽。
(4)如果存在微观的缺陷,会使衍射峰的线形变化,也会影响面积与峰高的关系。
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什么是物相衍射强度?
强度表示为每秒的计数(count per second, cps),一个物相总是有多个衍射峰,而且由于衍射角不同、多重因子不同、结构因子不同等因素,一个物相的不同衍射峰的高度是不相同的,当然,衍射峰的面积也会不同。
一般说一个物相的衍射强度不是指在扫描范围(2θ)内全部衍射峰的强度,而是指其高的那个衍射峰的高度或者面积。当用高度来表示衍射强度时,可以称为线强度,而用面积来表示强度时称为积分强度。当然,没有哪一本书上这么死地规定一个物相的衍射强度。因此,也没有一本书上象这样详细地来说明一个物相的衍射强度到底是什么。
上面的说法仅是常用的方法,也是rir值定义的方法。那么,能不能有别的方法来定义一个物相的衍射强度呢?当然可以,比如,你想使用某个物相的次强线的高度来作为该物相的衍射强度也未尝不可。但是,有一点你要明白。定量分析的计算式中的rir值的定义也要跟着变,不能再使用强峰的峰高来与刚玉的强线峰高之比了。能不能用某一个扫描范围内一个物相全部或部分衍射峰的高度(或面积)之和来表示这个物相的衍射强度呢?当然可以,不过,同样地,rir值的定义也要跟着变。
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一个峰能表达一个物相强度吗?
上面说到,一般使用物相强峰的峰高或者面积来表示这个物相的衍射强度。但是,真的对这样表示吗?如果你的样品是粉末,那么你知道粉末样品是什么形状的吗?
假如是完状的,那么,无论你怎么制备样品,结果都是无任何择优取向的。因此,用一个峰的强度就可以表述一个物相的强度。---的是,没有几种粉末是真正球状的。更多的是其它形状。
比如,石墨往往是片状的,有些虽然不是片状的,但也是有棱有角的,或者你可以将它们---为长方体,三角形等等。试想想,如果在样品的压片过程中,有人为的因素,比如抖动一下,结果会怎么样呢?粉末的排列是不是还会是完全无序的呢?肯定不是,它们总是会朝着“整齐”的姿态排列。这就是我们的不幸,因为粉末颗粒排列得越整齐,也就是它们越有序,越是我们所不期望的。
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