xrd小角度检测价格-半导体xrd研究所

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    2023-4-22

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薄膜材料就是厚度介于一个纳米到几个微米之间的单层或者多层材料。由于厚度比较薄,薄膜材通常依附于一定的衬底材料之上。常规xrd测试,x射线的穿透---一般在几个微米到几十个微米,这远远大于薄膜的厚度,导致薄膜的信号会受到衬底的影响。

另外,随着衍射角度的增加,x射线在样品上的照射面积逐渐减小,x射线只能辐射到部分样品,无法利用整个样品的体积,衍射信号弱。薄膜掠入射衍射(gid:grazing incidence x-raydiffffraction)---地解决了以上问题。所谓掠入射是指使x射线以非常小的入射角(<5°)照射到薄膜上,小的入射角---减小了在薄膜中的穿透--- 。同时低入射角---增加了x射线在样品上的照射面积,增加了样品参与衍射的体积。这里有两点说明:gid需要的硬件配置;常规gid只适合多晶薄膜和非晶薄膜,xrd小角度检测分析,不适合单晶外延膜。







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广角xrd和小角xrd的区别

xrd是x射线衍射仪的简称。其基本原理是:当x射线照射所测物质(晶体),相应晶面会产生衍射强度。随着发射x射线的转轴移动,不同角度的不同晶面会被完全扫描出来。从而根据布拉格方程2d sinθ=nλ,呈现出图谱。广角xrd一般指3°~80°,甚至是更高的度数,xrd小角度检测实验室,一般用来判断某种材料的物相,即是什么物质。而小角xrd一般是指0°~3°的测试范围,在该范围内对应的晶面一般是层间,即(00x)晶面,一般用来比较改性物质前后该晶面的层间距变化。

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xrd小角度测试x 射线散射效益来自于物质内部1~100nm 量级范围内电子密度的起伏。对于完全均匀的物质,其散射强度为零。

当出现第二相或不均匀区时才会发生散射,广东xrd小角度检测,且散射角度随着散射体尺寸的增大而减小。

xrd小角度测试x射线散射强度受粒子尺寸、形状、分散情况、取向及电子密度分布等的影响。

对于稀疏分散、随机取向、大小和形状一致,且每个粒子内部具有均匀电子密度的粒子组成体系, 对于不规则形状的粒子体系,其散射强度不同,表现为散射函数不同。

同样,具有一致取向的粒子构成的稀疏粒子体系与无取向的粒子体系的散射强度也不同。

xrd小角度测试x射线散射可测尺寸分布,回旋半径,相关距离,平均壁厚,分形维度,以及分数等,可提供变温(室温~230°c),原位拉伸散射测试。





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